Back to EUR-Lex homepage

EUR-Lex Access to European Union law

Back to EUR-Lex homepage

This document is an excerpt from the EUR-Lex website

Use quotation marks to search for an "exact phrase". Append an asterisk (*) to a search term to find variations of it (transp*, 32019R*). Use a question mark (?) instead of a single character in your search term to find variations of it (ca?e finds case, cane, care).
Search tips
Need more search options? Use the Advanced search
You are here

Document 32022R0001R(01)

Popravek Delegirane uredbe Komisije (EU) 2022/1 z dne 20. oktobra 2021 o spremembi Uredbe (EU) 2021/821 Evropskega parlamenta in Sveta glede seznama blaga z dvojno rabo (Uradni list Evropske unije L 3 z dne 6. januarja 2022)

UL L 20, 31.1.2022, p. 282–282 (BG, ES, CS, DA, DE, ET, EL, EN, FR, GA, HR, IT, LV, LT, HU, MT, NL, PL, PT, RO, SK, SL, FI, SV)

ELI: http://data.europa.eu/eli/reg_del/2022/1/corrigendum/2022-01-31/oj

31.1.2022   

SL

Uradni list Evropske unije

L 20/282

Popravek Delegirane uredbe Komisije (EU) 2022/1 z dne 20. oktobra 2021 o spremembi Uredbe (EU) 2021/821 Evropskega parlamenta in Sveta glede seznama blaga z dvojno rabo

( Uradni list Evropske unije L 3 z dne 6. januarja 2022 )

Stran 142, Priloga, točka 3B001.f se nadomesti z naslednjim:

„f.

litografska oprema:

1.

oprema za pozicioniranje in izpostavljanje rezin po sistemu korak in ponovi (neposredni korak na rezini) ali korak in skeniraj (skener) pri obdelavi rezin z uporabo fotooptične metode ali metode z rentgenskimi žarki in ki ima katero koli od naslednjih značilnosti:

a.

vir svetlobe valovne dolžine manj kakor 193 nm ali

b.

zmožnost proizvajanja oblike z ‚minimalno razločljivo potezo‘ (MRF) 45 nm ali manj;

Tehnična opomba:

‚minimalna razločljiva poteza‘ (MRF) se izračuna po naslednji enačbi:

Image 1

pri čemer je faktor K = 0,35.

2.

tiskarska litografska oprema, s katero se lahko tiska podobe z največ 45 nm;

Opomba:

točka 3B001.f.2 vključuje:

—

mikrokontaktno tiskarsko orodje,

—

vroča reliefna orodja,

—

nanotiskarska litografska orodja,

—

tiskarska litografska orodja „step and flash“ (S-FIL).

3.

oprema, izdelana posebej za obdelavo naprav za izdelavo mask, ki ima obe naslednji značilnosti:

a.

elektronski žarek z odklonjenim fokusom, ionski ali „laserski“ žarek in

b.

ima katero koli od naslednjih značilnosti:

1.

polovična vrednost širine (FWHM) točke, manjša od 65 nm in postavitev slike, manjša od 17 nm (srednja vrednost + 3 sigme), ali

2.

se ne uporablja;

3.

napaka pri prekrivanju druge plasti, manjša od 23 nm (srednja vrednost + 3 sigme) na maski;

4.

oprema, ki je zasnovana za obdelavo s pomočjo neposrednih metod zapisa in ima obe naslednji značilnosti:

a.

elektronski žarek z odklonjenim fokusom in

b.

ima katero koli od naslednjih značilnosti:

1.

najmanjša širina žarka je enaka ali manjša od 15 nm ali

2.

napaka pri prekrivanju plasti, manjša od 27 nm (srednja vrednost + 3 sigme);“.
Top