Back to EUR-Lex homepage

EUR-Lex Access to European Union law

Back to EUR-Lex homepage

This document is an excerpt from the EUR-Lex website

Use quotation marks to search for an "exact phrase". Append an asterisk (*) to a search term to find variations of it (transp*, 32019R*). Use a question mark (?) instead of a single character in your search term to find variations of it (ca?e finds case, cane, care).
Search tips
Need more search options? Use the Advanced search
You are here

Document 32022R0001R(01)

Ceartúchán ar Rialachán Tarmligthe (AE) 2022/1 ón gCoimisiún an 20 Deireadh Fómhair 2021 lena leasaítear Rialachán (AE) 2021/821 ó Pharlaimint na hEorpa agus ón gComhairle a mhéid a bhaineann le liosta na n-ítimí dé-úsáide (Iris Oifigiúil an Aontais Eorpaigh L 3 an 6 Eanáir 2022) (IO L Eagrán Speisialta Gaeilge 3, lch. 142)

IO L 20, 31.1.2022, p. 282–282 (BG, ES, CS, DA, DE, ET, EL, EN, FR, GA, HR, IT, LV, LT, HU, MT, NL, PL, PT, RO, SK, SL, FI, SV)

ELI: http://data.europa.eu/eli/reg_del/2022/1/corrigendum/2022-01-31/oj

31.1.2022   

GA

Iris Oifigiúil an Aontais Eorpaigh

L 20/282

Ceartúchán ar Rialachán Tarmligthe (AE) 2022/1 ón gCoimisiún an 20 Deireadh Fómhair 2021 lena leasaítear Rialachán (AE) 2021/821 ó Pharlaimint na hEorpa agus ón gComhairle a mhéid a bhaineann le liosta na n-ítimí dé-úsáide

( Iris Oifigiúil an Aontais Eorpaigh L 3 an 6 Eanáir 2022 )

(IO L Eagrán Speisialta Gaeilge 3, lch. 142)

Ar leathanach 142, san Iarscríbhinn, cuirtear pointe 3B001.f in ionad an mhéid a leanas:

In ionad:

“f.

Trealamh liteagrafaíochta, mar a leanas:

1.

Trealamh céime agus athdhéanta (céim dhíreach ar an sliseog) nó trealamh céime agus scanta (scanóir) d’ailíniú agus do nochtadh chun sliseoga a phróiseáil trí mhodhanna fóta-optúla nó x-ghathacha, ar fíor ina leith aon cheann díobh seo a leanas:

a.

Tá tonnfhad na foinse solais aige ar giorra é ná 193 nm; nó

b.

Tá ar a chumas pátrún a tháirgeadh a bhfuil ‘Méid na Tréithe Intaifithe is Lú’ (MRF) aige arb ionann í agus 45 nm nó ar lú í ná sin;

Nóta Teicniúil:

Déantar ‘Méid na Tréithe Intaifithe is Lú’ (MRF) a ríomh de réir na foirmle a leanas:

Image 1

an fachtóir K = 0.35

2.

Trealamh liteagrafaíochta inphrionta a bhfuil ar a chumas tréithe a tháirgeadh arb ionann iad agus 45 nm nó ar lú iad ná sin;

Nóta:

Áirítear le 3B001.f.2:

—

Uirlisí priontála micritheagmhála

—

Uirlisí cabhraíochta te

—

Uirlisí liteagrafaíochta nana-inphrionta

—

Uirlisí don liteagrafaíocht inphrionta céime agus splaince (S-FIL)

3.

Trealamh atá saindeartha chun maisc a dhéanamh, ar fíor ina leith gachceann díobh seo a leanas:

a.

Úsáideann sé léas leictreon dírithe sraonta, léas ian nó léas ‘léasair’; agus

b.

Is fíor ina leith aon cheann díobh seo a leanas:

1.

Tá spotmhéid iomlán leithleithid (FWHM) aige atá níos lú ná 65 nm agus socrúchán íomhánna ar lú é ná 17 nm (meán + 3 sigma); nó

2.

Ní úsáidtear;

3.

Tá earráid forleagain dara ciseal aige ar lú í ná 23 nm (meán + 3 sigma) ar an masc;

4.

Trealamh atá deartha chun feistí a phróiseáil, agus úsáid á baint as modhanna scríofa dhírigh, a bhfuil gach ceann díobh seo a leanas aige:

a.

Léas leictreon dírithe sraonta; agus

b.

Is fíor ina leith aon cheann díobh seo a leanas:

1.

Tá íosmhéid léis aige arb ionann í agus 15 nm nó ar lú ná sin í; nó

2.

Tá earráid forleagain aige ar lú í ná 27 nm (meán + 3 sigma);”.
Top